国产层流流量测控硬核亮相!易度携三大主力产品亮相CIOE中国光博会
- 2026-09-20 09:32:5111
来源:化工仪器网
9月9日,第二十七届中国国际光电博览会(CIOE 中国光博会)在深圳国际会展中心启幕。本届展会汇聚全球30多个国家和地区的4000余家企业,展出面积达26万平方米。作为国内层流流量测控领域的代表企业,陕西易度智能科技有限公司(以下简称“易度”)携多款自研产品亮相展会。

易度展位现场(展位号:7A97)
陕西易度智能科技有限公司的层流质量流量计与控制器产品,已通过中国计量科学研究院相关认证,具备通用型层流质量流量计的规模化生产能力,同时拥有层流流量计CPA认证资质。公司2015年成立,研发团队以西北工业大学航空宇航专业博士后、博士为核心,深耕层流压差与微流量测控技术十余年,拥有20余项专利,参与《流量测量技术全书》编撰、科技部氢能重点专项等国家级项目。产品量程覆盖0.5SCCM~5000SLPM,支持70余种气体,服务半导体、光伏、燃料电池、生物制药等行业,搭建了覆盖国内多地的本地化服务网络。
依托深厚的技术积累,本届展会易度集中展出P系列便携式质量流量计、EC系列一体式质量流量控制器、TC系列口袋型质量流量控制器,分别对应现场校验、工业过程控制与小型设备集成场景。
P系列便携式质量流量计:便携随行,现场快速流量核验

易度P系列新一代便携式质量流量计
P系列是易度开发的新一代便携式气体质量流量计,专为流量快速测量、在线流量比对与设备巡检打造。产品采用层流压差式测量原理,基于哈根-泊肃叶定律,读取层流元件两端压差计算体积流量,经压力、温度修正获得标准体积流量与质量流量;彩色触控屏可同时显示标况流量、工况流量、累计流量、压力、温度等参数。
设备内置电池续航达15小时,无需外接数据线即可独立测量;量程覆盖0.5SCCM~5000SLPM,准确精度最高±0.5%读数,重复性精度最高±0.1%F.S.,响应时间≤100ms,可选配低压损结构。
EC系列一体式层流质量流量控制器:全自研核心部件,适配复杂工况

易度EC系列一体式层流质量流量控制器
EC系列是易度研发的一体式通用型气体质量流量控制器,适用于各类行业不同场景,层流元件、精密比例调节阀、压差传感器、软件算法与电路设计五大核心技术均为自主研发,量程覆盖0.5SCCM~5000SLPM,准确精度最高±0.5%设定值,重复性精度最高±0.1%F.S.,流量控制量程比最高200:1。
产品宽温度适应范围达-50℃~80℃,最大工作压力2MPa以内并支持负压,70余种气体可任意切换;支持RS485、PROFIBUS、EtherCAT、PROFINET、DeviceNet及4~20mA/0~5V等多种通讯方式,提供通用、耐腐蚀、半导体、抗吸附等多种场景型号及VCR、卡套、G螺纹、IGS等气路接口。
TC系列口袋型层流质量流量控制器:小尺寸,高性能

易度TC系列口袋型层流质量流量控制器
TC系列是易度开发的新一代紧凑型气体质量流量控制器,机身长仅70mm,配备可拆卸磁吸式触控屏幕。产品采用层流压差式测量原理,内置自主研发的高精度电磁比例阀,结合传感器反馈实现精准闭环控制。
产品量程覆盖0.5SCCM~20SLPM,准确精度最高±0.5%设定值,重复性精度最高±0.1%F.S.,响应时间≤600ms,支持70余种气体切换,提供G螺纹、VCR、卡套、IGS等多种气路接口,适合小型实验平台与紧凑工艺模组的流量测控集成。

展会现场,易度展台吸引众多半导体、光电、新能源行业观众驻足咨询。技术人员结合CVD工艺、燃料电池测试、设备校准等应用案例,就测量精度、多气体适配、长期运行稳定性等问题与客户深入交流。
未来,易度将持续深耕层流压差流量测控核心技术,迭代优化产品矩阵、完善本地化服务,以国产自研精密流量器件助力半导体、新能源、高端科研装备产业链自主升级。