使用三坐标测量机通过对一个原件使用进行不同的测量速度以确定的测量速度（也称为逼近速度）。在此，我们会发现必须在慢的测量速度（这会导致不合理的长的时间来完成使用者所需要的测量）和快速测量（会导致接触表面有较大的冲击力）之间做出妥协。

通过观察可以发现，速度缓慢的测量虽然误差大但误差稳定，这是由低速时触发测头所需的大量时间导致的。

使用快速测量时，测头在更短的时间内触发以及探针的偏转显著降低。然而，随着快速测量，探针接触时的力也会更大，这些都会对被测原件产生较大的影响同时还会引起震动以及惯性影响。实验结果表明，以111毫米每秒的快速测量以及以83毫米每秒的中等进给速度对于某些仪器在测试中会有小的测量误差。因此建议使用者在自己的测量设置中进行测试以确定的测量速度。