激光干涉仪的测量精度的有哪些因素
时间:2020-06-28 阅读:55
激光干涉仪的测量精度的有哪些因素。在实际使用中,激光干涉仪必须确认每个测量应用中可达到的真实精度水平,以确保准确可靠的测量数据。激光干涉仪的测量读数终与激光波长有关,因此激光频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保证。另外,激光干涉仪的环境干涉仪(压力,温度和湿度传感器)的读取精度对终测量的精度具有重大影响。
总之,影响激光干涉仪测量精度的因素包括:
1.激光频率(波长)和频率稳定性;
2.测量读取软件系统引起的错误;
3.镜面误差和金字塔角度;
4.温湿度,压力传感器误差;
当然,特定测量任务中的测量精度还与诸如现场测量人员和环境条件等因素有关。
激光干涉仪的校准和精度验证?
在投入使用之前,必须检查激光干涉仪的关键操作。随着使用年限的增加,激光干涉仪(包括环境补偿系统)的性能会因老化或使用不当而降低,从而影响测量的准确性。因此,有必要定期校准激光干涉仪测量系统的关键性能参数,以确保精确测量应用中的精确数据结果。根据国家计量检定规定的要求,有必要定期校准激光干涉仪的频率,距离误差,角度测量误差和环境补偿传感器。
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