美国ZYGO 3D外表轮廓仪NewView 7300

　　NewView 7300外表轮廓仪以其*的精细度和准确度定性和定量地反映出样品的外表粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的描摹。丈量进程精细，高速，非接触，且样品无需特殊处理。在高速扫描状态下纵向丈量规模可以从小于1nm至20000μm，基于ZYGO 的扫描技术，无论怎样的外表描摹，放大倍数以及台阶特性，NewView 7300只需一次扫描即可到达0.1nm的纵向分辨率，并取得所有的被测参数，我们还有三坐标检测仪等仪器，请继续关注。

　　体系参数:

　　◆原理: 非接触、三维白光扫描干涉仪

　　◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器,

　　◆视场扩大倍率：高质量分立扩大倍率镜头：0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

　　◆成像扩大: 电动3 位体系成像扩大

　　◆视场:0.03-14mm，跟物镜和扩大倍率有关,运用图像拼接技能可以得到更大规模

　　◆光源: 均匀成像，高效率，特别设计长寿命白光LED物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具

　　◆控制 :滤光板托架，视场光阑（辅助聚集）

　　◆丈量阵列:标配640×480 像素；640×480，320×240，160×120 像素,可选更高分辨率992×999

　　◆样件调查: 液晶显示屏实时调查

　　◆精细聚集 :电控手动和主动聚集

　　◆Z 轴驱动:直流无刷微步进电机驱动，200mm 行程,0.1μm 精度

　　◆尺寸:157×132×89cm ，NewView：81×58×41cm ，防振台：76X61X61,工作台：85X132X89cm

　　◆重量 :体系重量：约430Kg

　　◆输入电压: 100-240VAC,50/60 Hz

　　◆计算机: 带液晶显示器的高性能DELL 计算机

　　◆软件:ZYGO MetroPro 软件

　　◆物镜座: 可快速装卸单物镜夹具 ,选件:手动6 位塔台；电控 6 位塔台；

　　◆样品台:手动,俯仰（±6°）和XY 平移（±50mm）,电动,俯仰（±4°）和XY 平移（±76mm）电动, 俯仰（ ± 4 ° ）X-Theta （orY-Theta）和XY 平移（±76mm） 三种可选

　　◆纵向扫描:150μm，拓展扫描形式可到20mm,

　　◆纵向分辨率 ＜0.1nm,横向分辨率 0.36～9.5μm，与所选物镜有关,

　　◆扫描速度 ≤135μm/sec,与所选的CCD 和扫描形式有关

　　◆zui大数据点: 规范307200；可选984064；

　　◆RMS 重复性 ＜0.01 nm， RMSσ

　　◆台阶丈量 :准确度 ≤ 0.75% ;重复性≤ 0.1% @ 1σ

　　◆测样品特性:各种资料的表面：透明，不透明，镀膜,非镀膜，反射，弱反射

　　◆zui大尺寸: 89×203×203mm（高×宽×长）;反射率: 1-*