固体光谱分析仪的工作原理如下：
 

　　由光源辐射的待测元素的特征光谱被样品蒸汽中的待测元件的基态原子吸收，并且通过发射光谱被减弱的程度获得样品中待测元素含量。这符合兰伯特-比尔定律。物理原理：任何元素的原子都是由原子核和围绕原子核运动的电子组成的。原子核外的电子根据其能级分层，形成不同的能级。因此，原子核可以具有多个能级状态。
 

　　能级状态称为基态能级(E0=0)，剩余能级称为激发态能级，能量激发态称为激发状态。在正常情况下，原子处于基态，核外电子在其能量轨道上移动。
 

　　如果向基态原子提供一定量的外部能量，例如光能，当外部光能E的量正好等于基态原子与基态原子中较高能级之间的能级差E时，原子将吸收该特征波长的光，外部电子将从基态跃迁到相应的激发态，从而产生原子吸收光谱。
 

　　电子跃迁到更高的能级后，它处于激发态，但激发态电子是不稳定的。大约10^-8秒后，激发态电子将返回基态或其他较低能级，并以光的形式释放电子跃迁过程中吸收的能量。这个过程叫做原子发射光谱。可以看出，原子吸收光谱过程吸收辐射能，而原子发射光谱过程释放辐射能。
 

　　光谱分析是从这些元素的特征光谱(定性分析)中识别这些元素的存在，并且这些谱线的强度与样品中元素的含量有关。因此，这些谱线的强度可用于确定元素的含量(定量分析)。