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Quattro SEM为具有环境真空功能的极灵活、多功能高分辨率扫描电镜,可以将成像和分析全面性能与环境模式(ESEM)相结合,使得样品研究得以在自然状态下进行。
Quattro SEM高分辨率扫描电镜参数:
发射源:高稳定型肖特基场发射电子枪
分辨率:
型号 | Quattro C | Quattro S |
高真空 | ||
30kV(SE) | 1.0nm | |
1kV(SE) | 3.0nm | |
低真空 | ||
30kV(SE) | 1.3nm | |
3kV(SE) | 3.0nm | |
30kV(BSE) | 2.5nm | |
环境扫描模式 | ||
30kV(SE) | 1.3nm |
放大倍率:6 ~ 2,500,000×
加速电压范围:200V ~ 30kV
探针电流范围:1pA – 200nA,连续可调
X-Ray工作距离:10mm,EDS检出角35°
样品室:从左至右为340mm宽的大存储空间,样品室可拓展接口数量12个,含能谱仪接口3个(其中2个处于180°对角位置)
样品台和样品:
探测器系统:
同步检测多达四种信号,包括
样品室高真空二次电子探测器ETD
低真空二次电子探测器LVD
气体SED(GSED,用于环境扫描模式)
样品室内IR-CCD红外相机(观察样品台高度)
可用于样品导航的彩色光学相机Nav-Cam™
控制系统:
操作系统:64为GUI(Windows10)、键盘、光学鼠标
图像显示:24寸LCD显示器,WUXGA 1920×1200
定制化的图像用户界面,可同时激活多达4个视图
导航蒙太奇
软件支持Undo和Redo功能