ERS AC3 TS010 Chiller不制冷 维修

AC3系统的核心是ACP空气管理系统技术。在两端式的冷却操作中，提取冷却的空气。使用过的干燥的静静冷空气还可以作为节约成本的净化空气，重新吹向卡盘，以防止晶圆和其周围区域结冰。

ERS AC3 TS010 Chiller不制冷 维修

zonglen冷热液体循环冲击机chiller

ZL802是一台循环液进行温度控制并将其供给至客户的冷热源的装置。具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，采用控温设计和技术，具有广泛的温度范围：-80℃至+300℃，在半导体制作过程激光加工机/分析装置/LCD制造装置/金属模具温控等广泛用途中成果较多。

特点

·温度范围:-80℃~+300℃

·温度稳定性±0 .1℃℃

·PLC触摸屏操作，人机交互界面

·结构简单、可靠性高

·定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

·温度波动小

应用

·应用于半导体、激光、焊接机、食品、包装机，如：半导体（蚀刻装置、CMP、涂布机）·显影机、试验机、清洗机）激光（激光加工机·激光焊接机、激光器、、光纤激光器用传送电缆接头、超声波检查装置、二次电池制造工程）

·焊接机（弧焊、电阻焊接、高频感应加热设备）

可用选项

·省空间、省配线、省配管、省工时、双变频型更节能。

可对应温度稳定性±0.1℃、温度范围-80℃~+300℃。

循环液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去离子水（纯水）。

冷却方式：风冷式（可选配水冷式)