详细介绍

进口光学平台

TMC主动隔振系统STACIS® III

STACIS初设计用于隔离*半导体工厂中的精密微平版印刷，计量和检测设备，现在是噪声环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂，故障分析实验室，纳米技术研究，纳米制造设施和材料研究。

STACIS III包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。新的双核处理器和以太网以及前后面板上的USB串行端口，这个新的*的控制系统为用户提供了一个现代的，易于使用的图形用户界面（GUI）。通过数百个成功安装，STACIS是振动敏感度高的仪器的理想振动消除系统。409039945

特征及优点：

新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面
隔振开始于0.6Hz，1Hz时达到40％至70％的隔离率
频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％
降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行
有效隔振范围，0.6Hz到150Hz
获得众多用户的广泛认可和肯定
6向自由度硬安装设计，无需空气悬架
强大的控制系统无需定期重新校准
point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容
随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形
TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）
提高客户产品产量、质量、成品率。
符合RoHS标准
宽的主动隔振带宽，的低频隔振效果
亚赫兹的主动震动消除，主要在0.6-6Hz频段内的隔振
可堆叠式设计
主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连
被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐
由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器
负载可达2000kg

STACIS® III性能规格：

Active degrees of freedom	6
Active bandwidth	0.6 Hz - 150 Hz
Passive natural frequency	18 Hz vertical and horizontal
Effective active resonant frequency	0.5 Hz
Isolation at 1 Hz	40% - 70%
Isolation at ≥2 Hz	≥90%
Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction)	0.3 sec
Internal noise	<0.1 nm RMS
Operating load range per isolator	Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg) Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg) Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg)
Static lift capacity per isolator	9000 lbs (4090 kg)
Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator)	40,000 lb/in. (73 x 105N/m)
Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator	<0.02 μG broadband RMS

STACIS® III用户及应用领域：

1、微电子、半导体

晶片检测
显微光刻技术
掩膜校准

2、科学研究、纳米技术

SEM、TEM
STEM、SPM

3、激光台

生命科学、药物研发

4、工业应用

精密加工

为什么要选择主动系统？

从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
提高质量、生产量
更加细小特色的成像能力
前沿研究
比气动平台更稳定
满足SEM标准地点安装参数的wei一解决方案
使得新实验室及研究设备的工程造价更低

主动系统为何选择STACIS

正中了科研者的的心声，提供了尽可能的无震环境。
市场上强劲的低频隔振系统。
目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振设备才能满足。
STACIS发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振设备，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。

STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍

稳定时间作为对扰动的响应，由于*的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

如下优势在业内都是的

STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB
从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB)

性能曲线

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

进口光学平台 超净间790系列

ClassOne 790 Series for Cleanrooms

ClassOne™CleanTop®光学平台是为了将传统的CleanTop平台用于超净间所做的扩展。共有两种阻尼可选：大阻尼和标准阻尼。如果需要，不锈钢CleanTop“杯”结构也可供选择。

特点

5mm厚的平台顶板
两个固定等级阻尼
CleanTop独立尼龙杯，每一个螺纹孔下面都是密封的
不锈钢结构顶板、底板和侧壁
适用于超净间的设计和包装

规格

Core	Sl honeycomb,closed-cell,0.010 in. thick foil 钢制蜂窝封闭孔，0.010英寸厚的铝箔
Core shear modulus	275,000 psi
Core cell size	＜0.5 in.²
Core density	13.3 lbs/ft³(230kg/m³)
Flatness	±0.005 in.(0.13mm)
Top and botton skins	430 series ferromagnetic stainless steel 430系列铁磁不锈钢
Sidewalls	Stainless steel with damped interior surface 不锈钢与内部减震表面
Tapped holes	Backed by 1 in. (25mm) Long nylon(optional stainless steel 304alloy)cups 使用25mm长尼龙杯（或304不锈钢杯）

Surface Dimensions			8" Thick Tops (200 mm)	12" Thick Tops (300 mm)	18" Thick Tops (450 mm)	24" Thick Tops (600 mm)
in.	ft.	m	8" Thick Tops (200 mm)	12" Thick Tops (300 mm)	18" Thick Tops (450 mm)	24" Thick Tops (600 mm)
30 x 60 maximum dry damping		0.75 x 1.5 maximum dry damping	794-432	794-632
30 x 72 maximum dry damping		0.75 x 1.8 maximum dry damping	794-491	794-691
30 x 96 maximum dry damping		0.75 x 2.4 maximum dry damping	794-492	794-692
30 x 120 maximum dry damping		0.75 x 3.0 maximum dry damping	794-493	794-693
36 x 60 maximum dry damping	3 x 5 maximum dry damping	0.9 x 1.5 maximum dry damping	794-436	794-636
36 x 72 maximum dry damping	3 x 6 maximum dry damping	0.9 x 1.8 maximum dry damping	794-439	794-639
36 x 96 maximum dry damping	3 x 8 maximum dry damping	0.9 x 2.4 maximum dry damping	794-440	794-640	794-740	794-840
36 x 120 maximum dry damping	3 x 10 maximum dry damping	0.9 x 3.0 maximum dry damping	794-494	794-694	794-794	794-894
40 x 60 maximum dry damping		1.0 x 1.5 maximum dry damping	794-443	794-643
40 x 80 maximum dry damping		1.0 x 2.0 maximum dry damping	794-444	794-644	794-744	794-844
40 x 120 maximum dry damping		1.0 x 3.0 maximum dry damping	794-445	794-645	794-745	794-845
48 x 48 maximum dry damping	4 x 4 maximum dry damping	1.2 x 1.2 maximum dry damping	794-447	794-647
48 x 60 maximum dry damping	4 x 5 maximum dry damping	1.2 x 1.5 maximum dry damping	794-449	794-649
48 x 72 maximum dry damping	4 x 6 maximum dry damping	1.2 x 1.8 maximum dry damping	794-451	794-651	794-751	794-851
48 x 96 maximum dry damping	4 x 8 maximum dry damping	1.2 x 2.4 maximum dry damping	794-455	794-655	794-755	794-855
48 x 120 maximum dry damping	4 x 10 maximum dry damping	1.2 x 3.0 maximum dry damping	794-459	794-659	794-759	794-859
48 x 144 maximum dry damping	4 x 12 maximum dry damping	1.2 X 3.6 maximum dry damping	794-463	794-663	794-763	794-863
48 x 168 maximum dry damping	4 x 14 maximum dry damping	1.2 x 4.2 maximum dry damping	794-465	794-665	794-765	794-865
48 x 192 maximum dry damping	4 x 16 maximum dry damping	1.2 x 4.8 maximum dry damping	794-467	794-667	794-767	794-867
60 x 60 maximum dry damping	5 x 5 maximum dry damping	1.5 x 1.5 maximum dry damping	794-470	794-670	794-770	794-870
60 x 72 maximum dry damping	5 x 6 maximum dry damping	1.5 x 1.8 maximum dry damping	794-471	794-671	794-771	794-871
60 x 80 maximum dry damping		1.5 x 2.0 maximum dry damping	794-472	794-672	794-772	794-872
60 x 96 maximum dry damping	5 x 8 maximum dry damping	1.5 x 2.4 maximum dry damping	794-473	794-673	794-773	794-873
60 x 120 maximum dry damping	5 x 10 maximum dry damping	1.5 x 3.0 maximum dry damping	794-475	794-675	794-775	794-875
60 x 144 maximum dry damping	5 x 12 maximum dry damping	1.5 x 3.6 maximum dry damping	794-476	794-676	794-776	794-876
60 x 168 maximum dry damping	5 x 14 maximum dry damping	1.5 x 4.2 maximum dry damping	794-477	794-677	794-777	794-877
60 x 192 maximum dry damping	5 x 16 maximum dry damping	1.5 x 4.8 maximum dry damping	794-478	794-678	794-778	794-878
Weight Factor(WF) (approx.); Area x WF = Total Weight			0.255 lb/in.2 (0.016 kg/cm2	0.265 lb/in.2 (0.019 kg/cm2)	0.420 lb/in.2 (0.030 kg/cm2)	0.475 lb/in.2 (0.033 kg/cm2)

主动隔振基座SEM-Base® VI

用于SEM的主动式压电陶瓷振动消除地面式隔振基座-非气浮式系统

SEM-Base® VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base® VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子来显微镜（FIB）及小型双尤来设备。SEM-Base® VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器，带有图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。

SEM-Base® VI采用*串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有大的敏感度。加上TMC*的压电致动技术，SEM-Base® VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。

相比之前的SEM-Base版本，SEM-Base® VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式双核处理器，为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面，可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时，DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面，无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏（LCD）直接进行控制。

优势:

硬式装载技术

SEM-Base® VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统，从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。

主动惯性振动消除

SEM-Base® VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。

串行设计与压电技术

*串行设计加上高强度压电技术，SEM-Base® VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽，更实现了的惯性主动振动消除，2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。

*集成式的单平台设计

SEM-Base® VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化到了jizhi，简单的定位与设置之后即可正常工作。

NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base® VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响

特点：

STACIS技术
主动惯性振动清除系统
895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM
负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.)
隔振效率1Hz:40-70%
隔振效率经2Hi:90%
隔振效率＞3Hz:90-98%
6个主动自由度
安装容易，调试简单
兼容所有设备内直的振动隔离系统
电源：100-240VAC, 50/60Hz, <600W
是否需要空气：非气浮系统
CE与RoHS认证
*集成式的单平台设计
可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运
兼容SEM-lift系统

性能规格：

Active degrees of freedom	6
Active bandwidth	0.6 Hz - 100 Hz
Passive natural frequency	12 Hz nominal
Effective active resonant frequency	0.5 Hz
Isolation at 1 Hz	40% - 70%
Isolation at 2 Hz	90%
Isolation at ≥3 Hz	90-98%
Internal noise	<0.1 nm RMS
Operating load range	Standard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg) High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)
Static lift capacity	12,000 lbs (5454 kg)
Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the platform	<0.02 μG broadband RMS

内置控制器规格

Processor	150/75 MHz dual core
Sampling rate	10 kHz
Analog outputs	16 channels
Analog inputs	16 channels
Status light	single LED
Front panel ports	1x serial USB 2.0 1x serial Micro-USB 1x Ethernet RJ-45 2x BNC
User interface	Front panel LCD display Character menu on HyperTerminal Extended GUI for Microsoft Windows Embedded Ethernet GUI

隔离器设计，尺寸，环境和实用要求

Environmental and safety	CE and RoHS compliant
Active isolation elements	high-force piezoelectric actuators that receive signal from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC
Passive isolation element	single stiff elastomer (no compressed air supply required)
Vibration sensor elements	downward facing geophone type inertial sensors that measure floor vibration below the isolator and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion
Active feedback loop	Floor vibration is measured, processed and attenuated below the spring supporting the isolated surface
Dimensions (D)	35.25 x 44.25 in. 895 x 1124 mm
Height	6.3 in. (160 mm) nominal, doesn't change when SEM-Base is switched off
Operating temperature	50° - 90° F 10° - 32° C
Storage temperature	-40° - 130° F -40° - 55° C
Humidity (operating)	30 - 60%
System power requirements	100, 120, 230, 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W CE compliant
Floor displacement	<800 μin. (20 μm) below 10 Hz

性能曲线：

1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

产品尺寸：

CleanBench 68-500高负载光学实验桌

对于需要隔离净重超过350磅（160千克）的隔振实验桌应用，我们*使用我们的高负载的CleanBench 68-500系列实验桌。它们与我们的63-500系列工作台设计类似，具有更高负载的隔离装置和更厚的不锈钢顶板。

除高负荷应用外，CleanBench还*用于具有异常高重心和有移动平台的设备的负载。这些应用程序应该受益于稳定性的提高。

随着更坚硬，更厚重的台面，更低的固有频率的隔离器和更坚硬更重的支腿，高负载的CleanBenches提供的性能明显优于业内其他被动式工作台。

参数

隔离器固有频率
高频输入	垂直方向=1.0Hz，水平方向=0.8Hz
低频输入	垂直方向=1.2-1.7Hz，水平方向=1.0-1.5Hz
隔离器效率@5HZ	垂直方向=80-90% 水平方向=80-90%
隔离器效率@10Hz	垂直方向=90-99% 水平方向=90-99%
*负载能力	545Kg
整体材料	不锈钢平台，黑色氧化处理中等材料框架
空压机要求	80psi氮气或空气
船运重量	454kg

参数尺寸图

High-Capacity CleanBench Lab Tables with Gimbal Piston Vibration Isolation

Table Size (DxL)

Smooth Top

Tapped Holes
1/4-20 on 1 in. Spacing

Tapped Holes

M6 on 25 mm Spacing

900 x 1200 mm
35.4 x 47.2 in.

68-9012S

68-9012E

68-9012M

900 x 1500 mm
35.4 x 59.0 in.

68-9015S

68-9015E

68-9015M

Accessories - All Table Sizes

Casters (set of four)	83-013-01
Regular Armrest Pad (two recommended)	81-303-01
Subshelf	81-421-01

Accessories - Size Dependent

Table Size (DxL)	Front Support Bar	Rear Support Bar
900 x 1200 mm 35.4 x 47.2 in.	81-401-12	81-402-12
900 x 1500 mm 35.4 x 59.0 in.	81-401-15	81-402-15

Everstill™桌面式主动隔振光学平台

Everstill™ Active Benchtop Isolator

Everstill™是TMC在*的地面振动控制方面的新突破。获得的Everstill K-400是一款台式主动振动消除平台??，采用“串行式”有源架构。再加上与速度传感器相结合，增强了低频灵敏度，实现了极低水平的低频振动大幅度衰减。

随着TMC的STACIS®压电振动消除技术发展，Everstill是一款台式主动振动消除平台，可消除0.7 Hz起始的的振动。专为大低频性能设计的Everstill擅长于1-10 Hz的范围，其中精密仪器对1-10 Hz往往是敏感的。

Everstill K-400设计用于将超精密仪器与建筑物地板振动相隔离，隔离的频率从1Hz开始。是光学显微镜，扫描探针显微镜SPM和计量仪器的理想选择。使用Gainmatch™（正在申请），您可以轻松选择三种增益设置中的一种，以在您的环境中实现佳性能。

便携式，紧凑型设计非常适合安装在工作台和桌子上。wei一的输入要求是来自标准AC插座的电力。

优势：

的低频性能可以从0.7 Hz的频率隔离。提供非常显著的的振动消除，特别是在1-10 Hz的范围内。

获得的主动减振技术。非常适合小型轻量级超精密仪器

主动硬式安装。无需气泵，牢靠的即插即用设计。

*的震动传感技术。采用地音探测速度传感器达到亚赫兹的低频性能，其低频灵敏度要优于加速度计。

结构体系	串联式主动系统（致动器与隔离弹簧串联）
震动传感器	地音探测式速度传感器（电压与速度成正比）
调平	自动调平
重复率	+/- 0.02 in (+/- 0.5mm)
尺寸	(W x L x H)16 x 20 x 4 in. 400 x 500 x 100 mm
重量	55 lbs. (25 kg)
负载能力：	50–330 lbs. (23–150 kg)
隔震性能	4–7 dB @ 1.0 Hz > 20 dB，大于2.5 Hz时
共振频率	0.6 Hz
主动震动消除带宽	0.7–100 Hz
被动震动消除带宽	1000 Hz
供电	90-220V，50/60Hz
顶部基板	黑色阳极电镀铝（螺纹孔可选）

Everstill™ Ordering Chart

Catalog No.	Hole Pattern	Dimensions (LxH)
K-400	No Holes	16 x 20 x 3 in. 400 x 500 x 100 mm
K-400E	1/4 - 20 on 1 in. centers
K400M	M6 on 25 mm centers

Accessories Ordering Chart

Catalog No.	Description	Dimensions (LxH)
29-43240-01	46 lb. (21 kg) Load Plate	16 x 20 x 0.5 in. 400 x 500 x 12 mm
29-43245-01	Basepad	16 x 20 x 0.03 in. 400 x 500 x 0.8 mm
1163K-7512S	CleanBench for Everstill K-series	29.5 x 47.25 x 29.5 in. 750 x 1200 x 750 mm
1163K-7590S	CleanBench for Everstill K-series	29.5 x 35.4 x 29.5 in. 750 x 900 x 750 mm
83-501	Multi-Purpose Acoustic Enclosure	32 x 36 x 64 in. 813 x 914 x 1626 mm

产品简介

详细介绍

Accessories - All Table Sizes

Accessories - Size Dependent