Verios XHR SEM-FEI扫描电镜Verios XHR SEM-上海百贺仪器科技有限公司手机版

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产品简介

FEI扫描电镜Verios XHR SEM是 FEI 的 XHR（*分辨率）SEM 系列的第二代产品.在半导体制造和材料科学应用中,它可在 1 至 30 kV 范围内提供亚纳米量级分辨率以及增强的对比度,满足材料精密测量所需.

Verios 是 FEI 的 XHR（*分辨率）SEM 系列的第二代产品。在半导体制造和材料科学应用中，它可在 1 至 30 kV 范围内提供亚纳米量级分辨率以及增强的对比度，满足材料精密测量所需，同时又不会削弱传统扫描电子显微镜（SEM）所具有的高吞吐量、分析能力、样本灵活性和易用性等优势。

Verios 的材料科学应用

对材料科学家来说，Verios 可以将亚纳米表征拓展到当下正在开发的全新材料（例如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳米量级结构），从

而让他们获得重要的新发现。无需转而采用 TEM 或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。Verios 可灵活用于各类研究应用，能够容纳全尺寸晶圆或

冶金样本之类的大样本。您可以在高电流模式下执行快速分析，也可以开展精确的原型设计应用，例如电子束感应式材料直接沉积或光刻。