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原子力显微镜（光学一体机） |
FM-Nanoview Op-AFM |
◆ 光学金相显微镜和原子力显微镜一体化设计，功能强大
◆ 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能，两者可同时工作，互不影响
◆ 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能
◆ 激光检测头和样品扫描台集成一体，结构非常稳定，抗干扰性强
◆ 精密探针定位装置，激光光斑对准调节非常简便
◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描
◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品
◆ 超高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位
◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%
◆ 技术参数 Technical Parameters
工作模式 | 接触模式、轻敲模式 | 光学目镜 | 10X |
选配模式 | 摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力 | 照明方式 | LED柯勒照明系统 |
力谱曲线 | F-Z力曲线、RMS-Z曲线 | 光学调焦 | 粗微动手动调焦 |
XY扫描范围 | 50×50um，可选20×20um，100×100um | 摄像头 | 500万像素CMOS传感器 |
Z扫描范围 | 5um，可选2.5um，10um | 显示屏 | 10.1寸平板显示器，带图像测量功能 |
扫描分辨率 | 横向0.2nm，纵向0.05nm | 扫描速率 | 0.6Hz~30Hz |
样品尺寸 | Φ≤68mm，H≤20mm | 扫描角度 | 0~360° |
样品台行程 | 25×25mm | 运行环境 | Windows XP/7/8/10操作系统 |
光学物镜 | 5X/10X/20X/50X平场复消色差物镜 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
◆ 应用案例 Application Case
GaN衬底/扫描范围3µm×3µm 单晶硅金字塔/扫描范围30µm×30µm
微米光栅/扫描范围30µm×30µm MoTe/扫描范围16µm×16µm
